[实用新型]一种蓝宝石单晶炉的测温装置有效
申请号: | 201220744874.4 | 申请日: | 2012-12-29 |
公开(公告)号: | CN202968760U | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 何正梁;林岳明;毛庆斌 | 申请(专利权)人: | 浙江中赛科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B17/00 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 周涌贺 |
地址: | 323000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种蓝宝石单晶炉的测温装置,包括炉体、炉盖,炉体内设有容纳溶液的钳锅,其中炉盖上设有观测孔,观测孔上设有红外测温仪。本实用新型安装方便,连接简单;测温精确,变化灵敏;性能稳定,不易损坏。最明显的效果是能让长晶工程师直接从显示器上读取溶液中心表面温度,再通过引晶时工艺需求的温度来调整电压大小,从而控制加热器功率,改变炉内溶液温度,在最短的时间内把溶液温度控制在最佳的引晶温度,下降籽晶提升机构,使籽晶接触溶液,此时最佳的溶液温度保证了快速准确的引晶,从而缩短时间、人力、能耗,保证生产品质及制程进度。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 测温 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石单晶炉的测温装置,包括炉体(1)、炉盖(2),炉体(1)内设有容纳溶液(4)的钳锅(3),其特征是:所述炉盖(2)上设有观测孔(5),观测孔(5)上设有红外测温仪(6)。
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