[实用新型]一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的设备

摘要

本实用新型属于用物理冶金技术提纯技术领域，特别涉及一种电子束熔炼提纯多晶硅的设备，由上腔室和下腔室构成腔室整体，所述上腔室底板上通过坩埚架活动安装有熔炼坩埚，滑动机构通过传动杆安装于熔炼坩埚一侧，上腔室侧壁上固定安装有装料箱，送料带固定安装于装料箱之上，送料带送料口位于熔炼坩埚正上方，下腔室通过导轨机构活动安装于支撑腿之上，且位于上腔室正下方，下腔室底板上固定安装有转动机构，旋转台固定安装于转动机构上，顶撑台活动安装于旋转台之上，凝固坩埚置于顶撑台之上，上腔室底板和下腔室顶板上都开设有硅液倾倒口，本实用新型的设备，结构紧凑，易于操作，安全可控，生产效率高。

主权项

一种凝固坩埚旋转式电子束熔炼提纯多晶硅的设备，由上腔室（7）和下腔室（8）构成腔室整体，上腔室（7）固定安装于地面基体支架上，上腔室顶端安装有电子枪（1），真空泵组（2）通过真空管路与上腔室（7）相通，其特征是：所述上腔室（7）底板上通过坩埚架（6）活动安装有熔炼坩埚（5），滑动机构（15）通过传动杆（16）安装于熔炼坩埚一侧，上腔室（7）侧壁上固定安装有装料箱（17），送料带（18）固定安装于装料箱（17）之上，送料带（18）送料口位于熔炼坩埚正上方，下腔室（8）通过导轨机构（13）活动安装于支撑腿（14）之上，且位于上腔室正下方， 下腔室（8）底板上固定安装有转动机构（12），旋转台（10）固定安装于转动机构（12）上，顶撑台（11）活动安装于旋转台之上，凝固坩埚（9）置于顶撑台（11）之上，上腔室底板和下腔室顶板对应位置上开设有硅液倾倒口。