[实用新型]一种单晶炉用空心水冷轴

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉用空心水冷轴，包括在轴体中沿轴心线设置有通孔，在轴体的圆壁上开有进水螺旋槽和回水螺旋槽，进水螺旋槽和回水螺旋槽的上端口通过过渡槽连通，进水螺旋槽和回水螺旋槽的外周包裹有外筒；在进水螺旋槽和回水螺旋槽的下端口起始位置分别开有进水孔和出水孔。本实用新型装置的轴体是空心结构，轴体中间的通孔提供了安装温度传感器的空间，结构简单，加工制造容易，安全可靠，能够满足在水冷情况下实现对坩埚底部温度的测量，广泛适用于碳化硅晶体炉、氮化铝晶体炉、宝石炉等各种人工晶体生长设备中。

主权项

一种单晶炉用空心水冷轴，其特征在于：包括在轴体（1）中沿轴心线设置有通孔（8），在轴体（1）的圆壁上开有进水螺旋槽（3）和回水螺旋槽（4），进水螺旋槽（3）和回水螺旋槽（4）的上端口通过过渡槽（5）连通，进水螺旋槽（3）和回水螺旋槽（4）的外周包裹有外筒（2）；在进水螺旋槽（3）和回水螺旋槽（4）的下端口起始位置分别开有进水孔（7）和出水孔（6）。