[实用新型]用于真空腔体的载具有效
| 申请号： | 201220579642.8 | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN202913054U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 郭勋聪;洪婉玲;蔡俊毅 | 申请（专利权）人： | 钜永真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 朱振德 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种用于真空腔体的载具，其主要包含有：一陶瓷玻璃板；一第一板材；一第二板材；一第三板材；一第四板材；一第一感应板材；一第二感应板材；多根长肋以及多根楔。借由本实用新型提供的用于真空腔体的载具，可避免镀膜时采用的基板因热处理过程而发生破片，并可提高产品质量，延长设备使用寿命，达到改善劳动环境的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 空腔 | ||
【主权项】：
一种用于真空腔体的载具，其特征在于，包含有：一陶瓷玻璃板；一第一板材，具有一第一头端及一第一尾端；一第二板材，具有一第二头端及一第二尾端；一第三板材，具有一第五头端及一第五尾端；一第四板材，具有一第六头端及一第六尾端； 多根长肋，设置于该第三板材与该第四板材的上方并垂直于该第三板材与该第四板材，连结该第三板材与该第四板材；其中该第一板材、该第二板材、该第三板材与该第四板材互相结合组成一个四边形支架，四边形支架上放置该陶瓷玻璃板，构成该真空腔体的载具。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于钜永真空科技股份有限公司，未经钜永真空科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220579642.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
