[实用新型]六工位排气台真空系统有效
| 申请号： | 201220575346.0 | 申请日： | 2012-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN203038889U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 董湧法;张玉春;刘辉 | 申请（专利权）人： | 上海涌真机械有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/385 | 分类号： | H01J9/385 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201700 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种六工位排气台真空系统，其具有：两并列布置的第一、第二真空容器；作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连；作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀。本实用新型的有益效果是：六工位排气台真空系统通过直接焊接组合阀于真空室上，解决了传统真空系统连接方式复杂、连接处容易渗漏气体等难题，将工作腔与阀门形成一体，既保证了真空系统的高真空度，提高了抽排气速率，也使整个结构紧凑，占用面积小，增加了工位，提高了排气台工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 六工位 排气 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种六工位排气台真空系统，其具有： 两并列布置的第一、第二真空容器； 作为主抽真空泵的分子泵，其位于真空容器下侧且与真空容器相连； 作为前级泵的机械泵，其与分子泵相连；以及 多个设于真空容器的真空阀，其特征在于，所述第一、第二真空容器通过焊接方式分别连接三个真空阀。
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