[实用新型]一种光谱平坦的探测器用吸收层有效
| 申请号： | 201220571747.9 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN202956191U | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 马学亮;邵秀梅;于月华;李言谨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种光谱平坦的探测器用吸收层结构，吸收层自上而下由第一金属层、第二金属层和第三金属层组成。其特征在于：第一金属层是方块电阻9.5Ω/□-10.0Ω/□的铬镍合金层，第二金属层为膜厚为75nm-85nm的金属镍，第三金属层是膜厚为18nm-22nm的金属铬。其制造工艺包括：采用光刻图形化、热蒸发和离子束溅射的工艺技术制备平坦的宽光谱吸收层。采用此工艺方法制备吸收层工艺简单，和标准半导体工艺兼容，利于工艺整合，适用于单元、线列及面阵探测器。这种吸收层具有附着牢固、重复性好、吸收波段宽、光谱平坦、吸收率高、比热容小、传热性能优良的优点。同时吸收层可兼做电极，适合作为热红外探测器的吸收层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 平坦 探测 器用 吸收 | ||
【主权项】：
一种光谱平坦的探测器用吸收层，它由铬镍合金层（1）、镍金属薄膜（2）和铬金属薄膜（3）组成，其特征在于：吸收层按入射辐射的入射顺序依次为铬镍合金层（1）、镍金属薄膜（2）和铬金属薄膜（3），其中：所述的铬镍合金层（1）是方块电阻为9.5Ω/□‑10.0Ω/□的铬镍合金层；所述的镍金属薄膜（2）为膜厚为75nm‑85nm的金属镍；所述的铬金属薄膜（3）是膜厚为18nm‑22nm的金属铬。
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