[实用新型]采用四面加热的多晶硅铸锭炉

摘要

一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉，包括：吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块；加热器包括：隔热板、固定夹、加热体；其中，三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处，固定夹上端固定着四段加热体，每段加热体呈“W”型，四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。本实用新型通过在石英坩埚的侧壁外设置呈“W”型的首尾相连的四段加热体，有效地增加了加热体的实际长度，并且将热源分布到石英坩埚的四个侧面，在加热温度梯度更加符合工艺要求的同时减少了能源消耗。

主权项

一种采用四面加热的多晶硅铸锭炉，包括：吊杆、保温桶、加热器、炉体、石英坩埚、坩埚护板、支撑柱、观察窗、管路接口、炉盖、保温底板、导热块；其中，炉体顶端设有观察窗、炉体的侧壁设有抽真空的管路接口，炉盖位于炉体的下端，保温桶通过设置在其顶端的吊杆悬空吊在炉体内，设置在炉盖上的支撑柱穿过保温底板连接导热块，在导热块上设置有石英坩埚，石英坩埚内盛放硅料，在石英坩埚四面的侧壁外设置有紧靠侧壁的坩埚护板，坩埚护板外设置有加热器，加热器罩在石英坩埚及坩埚护板上，在加热器的上端面连接有数根电极杆，电极杆的顶端固定在炉体顶端，加热器通过电极杆悬吊在炉体内；    其特征在于：加热器包括：隔热板、固定夹、加热体；其中，三个固定夹呈三角形坐落在隔热板上表面的边线处，固定夹上端固定着四段加热体，每段加热体呈“W”型，四段加热体首尾相连形成中空的与石英坩埚相配合的矩形。