[实用新型]一种加速度计有效
| 申请号： | 201220488617.9 | 申请日： | 2012-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202815009U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 俞度立;于连忠;杨长春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块；所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位体通过所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括一根竖梁及四根横梁，每组位于所述竖梁两端的两端横梁与所述活动限位体相连接；位于所述竖梁中部的两根中部横梁与所述质量块相连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本实用新型采用了应力隔离设计，具有检测准确度高的特点，并且在芯片封装的过程中，本实用新型的加速度计结构大大减少了因封装应力而产生变形，提高了本实用新型的稳定性。此外，本实用新型的几何形状以及受力振型均为对称结构，因此具有检测准确度高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加速度计 | ||
【主权项】：
一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的活动限位体、弹性梁和质量块；其特征在于，所述活动限位体远离所述框架，并通过连接臂与所述框架相连接；所述质量块与所述活动限位体通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括一根竖梁及四根横梁，每组位于所述竖梁两端的两端横梁与所述活动限位体相连接；位于所述竖梁中部的两根中部横梁与所述质量块相连接。
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