[实用新型]一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置，包括精馏装置尾气回收系统、尾气压缩系统、氢气纯化回收系统所述精馏装置尾气回收系统包括尾气收集罐（1）、一级水冷器（2）、深冷器（3）、气液分离罐（4），所述尾气压缩系统包括一级尾气缓冲罐（5）、尾气压缩装置（6）、气气换热器（7），所述氢气纯化回收系统包括二级尾气缓冲罐（8）、氢气缓冲罐（10）、第一氢气分离净化装置（9）、第二氢气净化装置（11），其中，二级尾气缓冲罐（8）的进气口与气气换热器（7）的热侧出气口相连，二级尾气缓冲罐（8）的出气口与第一氢气分离净化装置（9）的进气口相连。本装置将还原系统、多晶硅干法尾气回收系统及精馏装置巧妙结合，即回收了含有氢气、氯硅烷和氯化氢的尾气，又可将氢气进行纯化。

主权项

一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置，其特征在于：包括精馏装置尾气回收系统、尾气压缩系统、氢气纯化回收系统，其中，所述精馏装置尾气回收系统包括尾气收集罐（1）、一级水冷器（2）、深冷器（3）、气液分离罐（4），其中，尾气收集罐（1）的进气口与各精馏装置尾气输出口相连，尾气收集罐（1）的出气口与一级水冷器（2）的进口相连，一级水冷器（2）的出口与深冷器（3）的进口相连，深冷器（3）的出口与气液分离罐（4）相连，回收的冷凝液从第一氯硅烷回收罐的出液口流出返回精馏塔；所述尾气压缩系统包括一级尾气缓冲罐（5）、尾气压缩装置（6）、气气换热器（7），其中，气气换热器（7）的冷侧进气口接收气液分离罐（4）中排出的气体，气气换热器（7）的冷侧出气口与一级尾气缓冲罐（5）进气口相连，一级尾气缓冲罐（5）进气口同时接收还原反应系统的尾气，气气换热器（7）的热侧进气口与尾气压缩装置（6）的出口相连，一级尾气缓冲罐（5）的尾气压缩装置（6）的进气口相连，一级尾气缓冲罐（5）的出口与尾气压缩装置（6）的进气口相连，气气换热器（7）的热侧出气口连接氢气纯化回收系统；所述氢气纯化回收系统包括二级尾气缓冲罐（8）、氢气缓冲罐（10）、第一氢气分离净化装置（9）、第二氢气净化装置（11），其中，二级尾气缓冲罐（8）的进气口与气气换热器（7）的热侧出气口相连，二级尾气缓冲罐（8）的出气口与第一氢气分离净化装置（9）的进气口相连，氢气缓冲罐（10）的进气口接收由第一氢气分离净化装置（9）的出气口排出的气体和尾气回收系统的氢气，氢气缓冲罐（10）的出气口与第二氢气净化装置（11）的进气口相连，第二氢气净化装置（11）的出气口与还原反应系统相连。