[实用新型]真空油扩散泵加热装置有效

专利信息
申请号: 201220328603.0 申请日: 2012-07-06
公开(公告)号: CN202811554U 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: 黄小卫;方建东;杨宁;孙晓晓 申请(专利权)人: 元亮科技有限公司
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所 32104 代理人: 殷红梅;涂三民
地址: 214037 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种真空油扩散泵加热装置,包括泵体,在泵体的下方设有电炉盘,在电炉盘内设有两段或者两段以上呈并联设置的电阻丝,每段电阻丝均受控于一个控制柜,电阻丝的一端通过导线连接在对应控制柜的正极,电阻丝的另一端通过导线连接在对应控制柜的负极;在泵体外设有温度数显仪,温度数显仪的测量探头伸入泵体内。本实用新型可精确控制扩散泵电炉加热功率,能够实现随着扩散泵油温度的变化而增大或者减少电炉加热功率,可以提高扩散泵的工作效率和真空度的稳定性且节能。同时,本实用新型可减少因电阻丝烧断而停止运作的概率。
搜索关键词: 真空 扩散 加热 装置
【主权项】:
一种真空油扩散泵加热装置,包括泵体(1),在泵体(1)的下方设有电炉盘(2),其特征是:在电炉盘(2)内设有两段或者两段以上呈并联设置的电阻丝(3),每段电阻丝(3)均受控于一个控制柜(4),电阻丝(3)的一端通过导线连接在对应控制柜(4)的正极,电阻丝(3)的另一端通过导线连接在对应控制柜(4)的负极;在泵体(1)外设有温度数显仪(5),温度数显仪(5)的测量探头伸入泵体(1)内。
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