[实用新型]一种电热式微镜的自动测试系统有效
| 申请号： | 201220301964.6 | 申请日： | 2012-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN202793736U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 兰树明;谢会开;陈巧;管帅;王东琳;傅霖来;周亮 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01M11/02;G01R27/02;G01R31/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种电热式微镜的自动测试系统，包括电动位移平台、电热式微镜测试的针头、数据采集系统、电热式微镜自动测试控制系统光路。一种电热式微镜的自动测试方法，包括电热式微镜良品率的测试、电热式微镜的老化测试和光扫描测试、电热式微镜属性测试。通过本实用新型的测试系统和方法能够实现自动测试微镜的良品率和自身属性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电热 式微 自动 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种电热式微镜的自动测试系统，其特征在于：包括电动位移平台、电热式微镜测试的针头、数据采集系统、电热式微镜自动测试控制系统光路；所述电动位移平台用于放置电热式微镜裸芯圆片，并可以带动圆片在X、Y、Z轴方向上移动；所述电热式微镜测试的针头用于接触电热式微镜的焊盘，测试电热式微镜驱动臂的阻值； 所述数据采集系统用于采集电热式微镜驱动臂电阻信号、位置敏感传感器输出的图形信号，控制电动位移平台移动，驱动电热式微镜扫描；所述电热式微镜自动测试控制系统光路用于将入射激光经电热式微镜反射到屏幕上和位置敏感传感器上。
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