[实用新型]一种用于拉制5寸区熔单晶硅加热线圈

摘要

本实用新型涉及一种用于拉制5寸区熔单晶硅加热线圈，包括线圈盘体，此线圈盘体与外侧线圈法兰盘相接，同时，所述线圈盘体外围环绕设置环形线圈水路，此线圈盘体外径设置为130mm-250mm。本实用新型有益效果为：产品单匝加热线圈内径小，可形成腰细、距离短的熔区，使之更稳定；在生产中加热后产生磁场应力，和炉内生长条件形成一个非动态平衡条件，从而有利于循环生产；尤其对于大直径单晶生长可提高成功率，利于降低功耗的损失，提高了功率利用率；可依据不同直径的原料采用不同的线圈来改变生长时产生的磁场，对于原料化料的形状和旋转的角度改变较为理想；有利于多晶原料消除硅刺的现象，成晶更稳定。

主权项

一种用于拉制5寸区熔单晶硅加热线圈，包括线圈盘体(5)，此线圈盘体(5)与外侧线圈法兰盘(1)相接，其特征在于：所述线圈盘体(5)外围环绕设置环形线圈水路(4)，此线圈盘体(5)外径设置为130mm‑250mm。