[实用新型]硅片清洗洗片装置有效
| 申请号： | 201220201731.9 | 申请日： | 2012-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN202667189U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 肖贵云;胡如权;承梦月;冯春霞 | 申请（专利权）人： | 常州顺风光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213164 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片清洗洗片装置，包括用于清洗硅片的超声槽，所述的超声槽的槽体内侧两边分别安装两根水管，两根水管的下方安装有超声发生器，槽体中心放置带粘晶板的硅片。本实用新型结构简单，使用方便，能使带粘晶板的硅片表面都被超声清洗到，同时硅片表面不会有砂浆残留，降低了后续制绒过程中的返工率。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 洗洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗洗片装置，其特征在于：包括用于清洗硅片的超声槽，所述的超声槽的槽体内侧两边分别安装两根水管，两根水管的下方安装有超声发生器，槽体中心放置带粘晶板的硅片。
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