[发明专利]薄膜形成装置及薄膜形成方法有效
| 申请号： | 201210594007.1 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103192602A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 冈本裕司 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J3/407 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜形成装置及薄膜形成方法，其目的在于要求缩减用于在阻焊抗蚀剂等薄膜上印字的工序数。本发明的薄膜形成装置及薄膜形成方法中，第1喷头及第2喷头对置于对象物。第1喷头及第2喷头分别吐出第1色及第2色的液状材料。移动机构使保持对象物的载物台相对于第1喷头及第2喷头向对象物的面内方向移动。控制装置控制第1喷头及移动机构而在对象物上以第1色液状材料形成第1薄膜，且控制第2喷头及移动机构而在对象物上以第2色液状材料形成第2薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜形成装置，其中，具有：载物台，保持对象物；第1喷头，与所述对象物对置且形成有吐出第1色液状材料的多个喷嘴孔；第2喷头，与所述对象物对置且形成有吐出与第1色不同的第2色液状材料的多个喷嘴孔；移动机构，使所述载物台相对于所述第1喷头及所述第2喷头在所述对象物的面内方向移动，或使所述第1喷头及所述第2喷头相对于所述载物台在所述对象物的面内方向移动；及控制装置，控制所述移动机构、所述第1喷头及所述第2喷头，所述控制装置控制所述第1喷头及所述移动机构而在所述对象物上以所述第1色液状材料形成第1薄膜，且控制所述第2喷头及所述移动机构而在所述对象物上以所述第2色液状材料形成第2薄膜。
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