[发明专利]非晶合金材料源的应用、复合材料及其制备方法在审
申请号: | 201210592440.1 | 申请日: | 2012-12-31 |
公开(公告)号: | CN103911587A | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 张法亮 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;B32B15/01;C22C45/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 贾玉 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种非晶合金材料源作为溅射或蒸镀工艺中的材料源用于形成非晶合金镀膜的应用、复合材料及其制备方法。根据本发明实施例的非晶合金材料源作为溅射或蒸镀工艺中的材料源用于在基材表面形成非晶合金镀膜的应用,所得到的膜层仍为非晶结构,具有优异的物理化学性能。 | ||
搜索关键词: | 合金材料 应用 复合材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
非晶合金材料源作为溅射或蒸镀工艺中的材料源用于在基材表面形成非晶合金镀膜的应用。
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