[发明专利]液晶显示面板及制造方法有效
| 申请号： | 201210576983.4 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103901691A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 霍思涛;姜文鑫;楼均辉 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1368 | 分类号： | G02F1/1368;G02F1/136;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 马晓亚 |
| 地址： | 201201 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种形成液晶显示面板的方法，包括：提供一绝缘基板，在绝缘基板上形成薄膜晶体管栅极层，在所述薄膜晶体管栅极层之上形成栅绝缘层，在所述栅绝缘层之上形成薄膜晶体管沟道层，在所述薄膜晶体管沟道层之上形成刻蚀阻挡层，最后形成薄膜晶体管源/漏电极层，在图案化刻蚀阻挡层时将所述薄膜晶体管栅绝缘层形成薄膜晶体管源/漏电极处刻蚀预设厚度。本发明同时还提供了采用上述方法形成液晶显示面板。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶显示 面板 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种液晶显示面板，包括：绝缘基板、形成在所述绝缘基板上的薄膜晶体管，形成在所述薄膜晶体管栅绝缘层上的薄膜晶体管沟道层，形成在所述薄膜晶体管沟道层上的刻蚀阻挡层；其特征在于，刻蚀所述刻蚀阻挡层时使所述薄膜晶体管栅绝缘层形成薄膜晶体管源/漏电极处同时被刻蚀预设厚度。
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