[发明专利]一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层及其制备方法有效
申请号: | 201210575085.7 | 申请日: | 2012-12-26 |
公开(公告)号: | CN103895283A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 黄峰;周小军;李艳玲;张晓娟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | B32B15/04 | 分类号: | B32B15/04;B32B9/04;C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/18 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 刘诚午 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层,由VC层和Ni层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Ni层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Ni层的厚度比为1.0~3.0:1,总厚度为1~5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Ni增韧涂层的制备方法,其方法为:将VC靶和Ni靶分别安装在中频阴极上,靶面垂直于旋转工作台,采用磁控溅射方法,对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性,可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求,降低了涂层的磨损率,其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 多层 结构 vc ni 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层,其特征在于,由VC层和Ni层交替沉积而成,相邻的一层VC层和一层Ni层构成一个双层周期层,每个双层周期层的厚度为1~88nm,每个双层周期层中VC层与Ni层的厚度比为1.0~3.0:1,纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层的总厚度为1~5μm。
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