[发明专利]传送系统有效
| 申请号： | 201210574403.8 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103227132A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 古市昌稔;木村吉希;松尾智弘;草间义裕 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种传送系统。根据一个实施方式的传送系统包括机器人和控制器。所述控制器包括切换单元。所述机器人包括臂单元和底座单元，所述臂单元由以可旋转的方式彼此连接的手和多个臂形成。后端侧的臂以可围绕旋转轴旋转的方式连接至所述底座单元，并且所述手以可旋转的方式连接至前端侧的臂。所述切换单元切换圆柱坐标控制和直角坐标控制，所述圆柱坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与从所述旋转轴放射出的线中的任何一条线重叠，并且所述直角坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹在预定的时刻与这些线都不重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 系统 | ||
【主权项】：
一种传送系统，所述传送系统包括：机器人，所述机器人包括臂单元和底座单元，所述臂单元由以可旋转的方式彼此连接的手和多个臂形成，后端侧的臂以可围绕旋转轴旋转的方式连接至所述底座单元，并且所述手以可旋转的方式连接至前端侧的臂；以及控制所述机器人的运动的控制器，其中所述控制器包括切换单元，所述切换单元在预定的时刻切换圆柱坐标控制和直角坐标控制，所述圆柱坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与从所述旋转轴放射出的线中的任何一条线重叠，并且所述直角坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与这些线都不重叠。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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