[发明专利]一种在线可控抛光装置有效
| 申请号： | 201210568634.8 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102975112A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 郭隐彪;吴沿鹏;杨炜;叶卉 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/005 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种在线可控抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有浮动盘、伸缩架、引导滑块、调节滑块、可拆卸夹持工具、压电传感器、底座和电磁铁；所述浮动盘上设有6条滑槽，伸缩架顶端与引导滑块相连，引导滑块嵌入滑槽内，伸缩架底端与调节滑块相连，调节滑块嵌入滑槽内，引导滑块上装有可拆卸夹持工具，压电传感器固定于浮动盘表面，浮动盘嵌入底座内且底部4个角落装有电磁铁，底座内与其相对应的位置也分别装有电磁铁。克服了现有的抛光装置对工件的尺寸和表面要求严格等问题，通过尺寸调整结构和压电传感器控制系统的互相配合，可以根据工件的尺寸大小和表面形貌进行尺寸和压力调整，从而达到固定工件和保证工件表面受力实时均匀的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 可控 抛光 装置 | ||
【主权项】：
一种在线可控抛光装置，其特征在于设有浮动盘、伸缩架、引导滑块、调节滑块、可拆卸夹持工具、压电传感器、底座和电磁铁；所述浮动盘上设有6条滑槽，伸缩架顶端与引导滑块相连，引导滑块嵌入滑槽内，伸缩架底端与调节滑块相连，调节滑块嵌入滑槽内，引导滑块上装有可拆卸夹持工具，压电传感器固定于浮动盘表面，浮动盘嵌入底座内且底部4个角落装有电磁铁，底座内与其相对应的位置也分别装有电磁铁。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门大学，未经厦门大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210568634.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
