[发明专利]一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统无效
申请号: | 201210516485.0 | 申请日: | 2012-12-04 |
公开(公告)号: | CN102978686A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 滑喜宝 | 申请(专利权)人: | 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215212 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统,包括侧隔热屏,顶部隔热屏和底部隔热屏,侧隔热屏由10-20层板材组成,通过悬挂件悬挂于炉壳上,顶部隔热屏由10-15层板材组成,直接放置于侧隔热屏上,底部隔热屏由10-15层板材组成,通过支架放置于下炉盖上。本发明提供的复合式隔热屏系统采用分体式可拆卸结构,极大地降低了蓝宝石生长系统的耗材成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 蓝宝石 晶体生长 复合 隔热 系统 | ||
【主权项】:
一种新型蓝宝石晶体生长炉复合式隔热屏系统,包括侧隔热屏,顶部隔热屏和底部隔热屏,其特征在于,所述侧隔热屏由10‑20层板材组成,通过悬挂件悬挂于炉壳上,所述顶部隔热屏由10‑15层板材组成,直接放置于侧隔热屏上,所述底部隔热屏由10‑15层板材组成,通过支架放置于下炉盖上。
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