[发明专利]人为等离子体分布特性的测试系统

摘要

本发明属于真空计量技术领域，具体涉及一种人为等离子体分布特性的测试系统。它包括：电推进（1）、朗缪尔探针、阻滞势分析仪、真空系统（6）及信号收集装置；电推进（1）安装于真空系统（6）的内部；朗缪尔探针的探头表面采用离子溅射镀金处理，所镀金膜的厚度为200-500nm；朗缪尔探针与阻滞势分析仪共同使用并与真空系统（6）外的信号收集装置连接，真空系统（6）一共有两组朗缪尔探针与阻滞势分析仪，分别放置于距电推进（1）的距离不同位于同一垂线方向上；本发明中综合利用朗缪尔探针和阻滞势分析仪测试电推进产生人为等离子体的温度、密度和能谱等特性，获得人为等离子体特性。

主权项

一种人为等离子体分布特性的测试系统，其特征是，它包括：电推进（1）、朗缪尔探针、阻滞势分析仪、真空系统（6）与信号收集装置； 所述电推进（1）安装于所述真空系统（6）的内部； 所述朗缪尔探针的探头表面采用离子溅射镀金处理，所镀金膜的厚度为200‑500nm； 所述阻滞势分析仪包括：金属外壳、入口栅极、初级电子阻挡栅极、离子扫描栅极、二次电子阻挡栅极、收集级以及陶瓷垫圈；所述入口栅极、初级电子阻挡栅极、离子扫描栅极、二次电子阻挡栅极、收集级从上至下依次安装在所述金属外壳的内部，相互之间由陶瓷垫圈隔开； 所述朗缪尔探针与所述阻滞势分析仪共同使用，所述真空系统（6）内一共有两组所述朗缪尔探针与所述阻滞势分析仪； 所述信号收集装置位于所述真空系统（6）的外部，分别与两组所述朗缪尔探针与所述阻滞势分析仪连接； 两组所述朗缪尔探针与所述阻滞势分析仪位于距所述电推进（1）的距离不同位于同一垂线方向上，使用时，所述真空系统（6）抽真空，所述电推进（1）产生人为等离子体，两个所述朗缪尔探针的扫描电压V范围为‑20至80V，步进为5V，测得探针收集电流I，所述信号收集装置获得两组不同位置人为等离子体的I‑V曲线；两个所述阻滞势分析仪的初级电子阻挡栅极加负偏置电压、离子扫描栅极加正电压、二次电子阻挡栅极加负偏置电压，利用收集级收集等离子体离子电流，所述信号收集装置获得不同位置人为等离子体中的离子电流。