[发明专利]一种铝丝键合机Z向与转角运动的结构无效
| 申请号： | 201210467498.3 | 申请日： | 2012-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN102922191A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 潘宝刚 | 申请（专利权）人： | 大连佳峰电子有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/02 | 分类号： | B23K37/02;H01L21/60 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人： | 花向阳 |
| 地址： | 116600 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种铝丝键合机Z向与转角运动的结构，属于半导体集成电路制造设备结构。包括一个转角机构和一个Z向运动机构，转角机构采用二个皮带传动机构和一个花键机构驱动Z向运动轴转动，Z向运动机构采用Z向丝杆驱动Z向运动轴作Z向运动。其优点是把Z向运动和转角运动分离开来，通过花键轴的连接，在焊头做Z向运动过程中通过一种轴承结构带动花键轴套做Z向运动，这样有效防止了同步带的受拉变形。当伺服电机带动花键轴旋转时，通过花键轴套把旋转变化量传递到焊头上。这样就在两个运动自由度下，保证了两个电机的负载较小。并且消除了同步带在不同位置的长度变化。提高了设备的稳定性和精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝丝键合机 转角 运动 结构 | ||
【主权项】：
一种铝丝键合机Z向与转角运动的结构，它包括一个转角机构和一个Z向运动机构，其特征在于：所述转角机构采用二个皮带传动机构和一个花键机构驱动Z向运动轴（15）转动，所述Z向运动机构采用Z向丝杆(16)驱动Z向运动轴（15）作Z向运动；转角驱动电机(1)经第一皮带传动机构驱动花键轴(5)，在花键轴(5)上的花键轴套(6) 经第二皮带传动机构驱动Z向运动轴（15）。
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