[发明专利]用于制造平板显示器的设备

摘要

本发明公开了一种用于制造平板显示器的设备，该设备包括多个处理室、传递室、加载室和卸载室。所述多个处理室均形成有内部空间，在该内部空间中处理至少两个基板。所述传递室沿第一方向布置在多个处理室之间，并且所述传递室包括传递机器人，该传递机器人在沿垂直于第一方向的第二方向直线往复运动时将未处理的基板供给处理室或者从处理室运出已处理的基板。所述加载室连接到传递室的一侧并且容纳将要供给传递室的基板。所述卸载室连接到传递室的另一侧并且容纳从传递室运出的基板。所述传递机器人在沿第二方向直线往复运动时控制基板顺序地供给处理室或者从处理室运出。

主权项

一种用于制造平板显示器的设备，该设备包括：多个形成有内部空间的处理室，在所述内部空间中处理至少两个基板；传递室，该传递室沿第一方向布置在所述多个处理室之间，并且所述传递室包括传递机器人，该传递机器人在沿垂直于所述第一方向的第二方向直线往复运动时将未处理的基板供给所述处理室或者从所述处理室运出已处理的基板；加载室，该加载室连接到所述传递室的一侧并且容纳将要供给所述传递室的基板；以及卸载室，该卸载室连接到所述传递室的另一侧并且容纳从所述传递室运出的基板，所述传递机器人在沿所述第二方向直线往复运动时控制所述基板顺序地供给所述处理室或者从所述处理室运出，并且在所述处理室中，一个基板受到处理气体的淀积，并且同时沿所述第二方向传递和对齐另一个基板。