[发明专利]独立控制五温区ZnSe合成沉积炉

摘要

本发明涉及一种独立控制五温区ZnSe合成沉积炉，包括硒蒸发区、锌蒸发区、合成区、沉积区以及杂质富集区，合成区的一端连接硒蒸发区，合成区的另一端连接锌蒸发区，合成区的第三端与沉积区的一端连接，沉积区的另一端与杂质富集区连接，在硒蒸发区、锌蒸发区、合成区以及沉积区分别设有各自的加热器，通过控制系统控制上述四个区加热器的加热温度、反应温度以及反应流程以沉积出优质的硒化锌合成料。本发明由于在各个区中设置加热器并且进行独立的温控，使得硒蒸发区和锌蒸发区中膜料的各个加热阶段相对应，避免了硒和锌蒸发温度不同带来的影响，最终确保沉积出优质的硒化锌合成料。

主权项

一种独立控制五温区ZnSe合成沉积炉，包括硒蒸发区(1)、锌蒸发区(2)、合成区(3)、沉积区(4)以及杂质富集区(5)，其特征在于：合成区(3)的一端连接硒蒸发区(1)，合成区(3)的另一端连接锌蒸发区(2)，合成区(3)的第三端与沉积区(4)的一端连接，沉积区(4)的另一端与杂质富集区(5)连接，在硒蒸发区(1)、锌蒸发区(2)、合成区(3)以及沉积区(4)分别设有各自的加热器，通过控制系统控制上述四个区加热器的加热温度、反应温度以及反应流程以沉积出优质的硒化锌合成料。