[发明专利]将横向运动转换成为上下运动的装置有效
| 申请号： | 201210430388.X | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103791053A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 魏猛 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F16H21/54 | 分类号： | F16H21/54;G03F7/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于涂胶显影和半导体晶片加工的技术领域，具体为将横向运动转换成为上下运动的装置。包括驱动装置、传动滑块、传动滑块导轨、从动滑块及上下运动导轨，其中传动滑块导轨设置于传动滑块上、并与水平面呈夹角设置，所述从动滑块的两端分别与传动滑块导轨和上下导轨滑动连接，所述传动滑块与驱动装置连接、并通过驱动装置驱动横向运动，从动滑块通过传动滑块的带动、两端分别沿传动滑块导轨和上下运动导轨上下滑动。本发明解决现有技术中需要气缸上下运动但空间有限问题。 | ||
| 搜索关键词： | 横向 运动 转换 成为 上下 装置 | ||
【主权项】：
一种将横向运动转换成为上下运动的装置，其特征在于：包括驱动装置(2)、传动滑块(4)、传动滑块导轨(1)、从动滑块(5)及上下运动导轨(3)，其中传动滑块导轨(1)设置于传动滑块(4)上、并与水平面呈夹角设置，所述从动滑块(5)的两端分别与传动滑块导轨(1)和设置于传动滑块(4)一侧的上下运动导轨(3)滑动连接，所述传动滑块(4)与驱动装置(2)连接、并通过驱动装置(2)驱动横向运动，从动滑块(5)通过传动滑块(4)的带动、两端分别沿传动滑块导轨(1)和上下运动导轨(3)上下滑动。
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