[发明专利]用于网状电极的混合酸清洁的方法有效
| 申请号： | 201210425747.2 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103094041A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 阿尔曼·阿沃杨;克利夫·拉克鲁瓦;石洪;约翰·多尔蒂 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一种实施方式中，一种用于清洁网状电极的方法可以包括：将网状电极密封在清洁组件中，使得在所述网状电极的第一侧上形成第一清洁空间，并在所述网状电极的第二侧上形成第二清洁空间。可以将酸性溶液加载到所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间中。可以给所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间加压，使得所述酸性溶液中的至少一部分流过所述网状电极的所述多个气体通道中的一个或多个。将一些纯化水推进穿过所述网状电极的所述第二侧上的所述第二清洁空间，并且与所述网状电极的所述第二侧接触。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 网状 电极 混合 清洁 方法 | ||
【主权项】：
一种用于清洁网状电极的方法，其包括：将网状电极密封在清洁组件中，使得在所述网状电极的第一侧上形成第一清洁空间，并在所述网状电极的第二侧上形成第二清洁空间，其中所述网状电极包括从所述网状电极的所述第一侧延伸穿过所述网状电极到达所述网状电极的所述第二侧的多个气体通道；将酸性溶液加载到所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间中；给所述网状电极的所述第一侧上的所述第一清洁空间加压，使得所述酸性溶液中的至少一部分流过所述网状电极的所述多个气体通道中的一个或多个；以及将一些纯化水推进穿过所述网状电极的所述第二侧上的所述第二清洁空间，并且与所述网状电极的所述第二侧接触。
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