[发明专利]一种晶体夹持装置及区熔单晶炉

摘要

本发明涉及区熔单晶生长炉技术领域，特别涉及一种晶体夹持装置和区熔单晶炉，用于减轻单晶体生长过程中产生的晃动，提高单晶体生长稳定性。本发明公开了一种晶体夹持装置，包括：夹晶固定盘，设置于夹晶固定盘中部的锁晶固定套，设置于夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第一次夹持的多个晶体夹持片机构，以及设置于夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第二次夹持的多个晶体夹持棒机构。在本发明中，利用晶体夹持片机构和晶体夹持棒机构对生长过程中的单晶体进行两次夹持，减轻单晶体生长过程中产生的晃动，从而提高单晶体生长稳定性。本发明同时还公开了一种区熔单晶炉，包括具有上述技术特征的晶体夹持装置。

主权项

一种晶体夹持装置，其特征在于，包括：夹晶固定盘，设置于所述夹晶固定盘中部、具有导向孔的锁晶固定套，设置于所述夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第一次夹持的多个晶体夹持片机构，以及设置于所述夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第二次夹持的多个晶体夹持棒机构；其中，每一个所述晶体夹持片机构包括：与所述夹晶固定盘固定连接的托板支撑柱，与所述托板支撑柱铰接的夹持片托板，与所述夹持片托板一端连接的第一牵引丝，与所述第一牵引丝连接的第一牵引块，滑动装配在所述锁晶固定套顶部导向孔中的导向杆，且所述导向杆的上端设置有夹持片，下端与所述夹持片托板相抵；每一个所述晶体夹持棒机构包括：与所述夹晶固定盘固定连接的夹持棒支撑柱，与所述夹持棒支撑柱铰接的夹持棒，与所述夹持棒一端连接的第二牵引丝，且所述第二牵引丝的长度小于所述第一牵引丝的长度，以及与所述第二牵引丝连接的第二牵引块。