[发明专利]同时含有高低阻的硅料清洗方法

摘要

本发明所设计的一种同时含有高低阻的硅料清洗方法，将硅料投入氢氟酸或氢氟酸与氟化铵的混合溶液中浸泡，浸泡完后取出用水冲至中性；再将硅料投入王水中浸泡，浸泡完后取出用水冲至中性；配置氢氟酸和硝酸的混合溶液，将硅料放入塑料容器中，加入刚配好的混合溶液，两者反应后，用清水轻冲，低阻料浮于水面，实现高低阻料分离；配置氢氟酸、硝酸、冰醋酸的混合溶液，将分离出的高阻料投入混合溶液中，搅动并间隔的加入双氧水，然后取出用水冲至中性；将高阻料投入碱洗盆中，加入氢氧化钠固体，同时加入氢氧化钠溶液，搅拌反应后用清水冲去碱液；将高阻料投入电子级盐酸中浸泡，浸泡完后用纯水冲洗干净；最后用纯水超声，完后捞取烘干。

主权项

一种含有高低阻的硅料清洗方法，其特征在于：清洗步骤如下：（1）、将硅料投入浓度大于40%氢氟酸或浓度大于40%氢氟酸与氟化铵固体的混合溶液中浸泡，浸泡完后取出用水冲至中性；（2）、再将硅料投入王水中浸泡，浸泡完后取出用水冲至中性；（3）、配置氢氟酸和硝酸的混合溶液，将硅料放入塑料容器中，加入刚配好的混合溶液，两者反应后，用清水轻冲，低阻料浮于水面，将浮于水面的低阻料倒入网布中，实现高低阻料分离；（4）、配置氢氟酸、硝酸、冰醋酸的混合溶液，将分离出的高阻料投入混合溶液中，搅动并间隔的加入双氧水，然后取出用水冲至中性；（5）、将高阻料投入碱洗盆中，加入氢氧化钠固体，同时加入氢氧化钠溶液，搅拌反应后用清水冲去碱液；（6）、将高阻料投入电子级盐酸中浸泡，浸泡完后用纯水冲洗干净；（7）、最后用纯水超声，完后捞取烘干。