[发明专利]长条镜安装装置有效
| 申请号： | 201210402585.0 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN103777303A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 吴飞;胡志宏;彭巍;吴萍;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种长条镜安装装置，设置于光刻机工件台的主基板下表面上，该长条镜安装装置通过在长条镜的中间段施加作用力，从而改变了长条镜的受力状态，使长条镜的最小变形处和最大变形处的差值变小，从而起到了矫正长条镜的平面度的作用，提高了长条镜的水平精度，该长条镜安装装置无需很高的长条镜加工精度，降低了长条镜的加工难度，也无需增加长条镜的厚度以克服其自重所带来的形变，大大节省了长条镜的材料耗费，减少了成本，并且长条镜水平精度的提高也使工件台激光干涉仪的Z向测量精度得以提高。 | ||
| 搜索关键词： | 长条 安装 装置 | ||
【主权项】：
一种长条镜安装装置，设置于光刻机工件台的主基板下表面上，其特征在于，包括三自由度水平调节装置、安装框架、至少一个弹性簧片和至少一个簧片变形调节装置，所述三自由度水平调节装置设置于所述主基板的下表面上，所述安装框架设置于所述三自由度水平调节装置的下表面上，所述安装框架用于固定所述长条镜，所述簧片变形调节装置能够调节所述弹性簧片的凹凸程度，使其对长条镜产生不同大小的力。
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