[发明专利]长条镜安装装置

权利要求书

1.一种长条镜安装装置，设置于光刻机工件台的主基板下表面上，其特征在于，包括三自由度水平调节装置、安装框架、至少一个弹性簧片和至少一个簧片变形调节装置，所述三自由度水平调节装置设置于所述主基板的下表面上，所述安装框架设置于所述三自由度水平调节装置的下表面上，所述安装框架用于固定所述长条镜，所述簧片变形调节装置能够调节所述弹性簧片的凹凸程度，使其对长条镜产生不同大小的力。

2.根据权利要求1所述长条镜安装装置，其特征在于，所述三自由度水平调节装置包括吊装地脚三点调平装置和底座，所述吊装地脚三点调平装置设置于所述主基板的下表面上，所述底座设置于所述吊装地脚三点调平装置的下表面上，所述安装框架设置于所述底座的下表面上。

3.根据权利要求2所述长条镜安装装置，其特征在于，所述安装框架包括两个安装块，所述两个安装块间隔设置于所述底座的下表面上。

4.根据权利要求1至3任一项所述长条镜安装装置，其特征在于，所述簧片变形调节装置包括滑块和调节螺栓，所述弹性簧片的一端设置于所述安装框架的一端，所述弹性簧片的另一端与所述滑块连接，所述调节螺栓穿过所述安装框架的另一端与所述滑块连接，所述调节螺栓调节所述滑块的水平位置。

5.根据权利要求4所述长条镜安装装置，其特征在于，所述簧片变形调节装置还包括锁紧螺栓，所述锁紧螺栓设置于所述滑块上，所述锁紧螺栓用于将所述滑块与所述安装框架相互锁紧。

6.根据权利要求1至3任一项所述长条镜安装装置，其特征在于，所述簧片变形调节装置包括两个安装底座外套和两个安装底座内套，所述两个安装底座外套沿所述长条镜宽度方向间隔设置于所述三自由度水平调节装置的下表面上，其间隔距离大于所述长条镜的宽度，所述两个安装底座外套与对应的所述两个安装底座内套滑动连接或通过内外螺纹连接，所述弹性簧片的两端分别设置于所述两个安装底座内套上。

7.根据权利要求6所述长条镜安装装置，其特征在于，所述簧片变形调节装置还包括锁紧螺栓，所述锁紧螺栓设置于所述安装底座外套上，所述锁紧螺栓用于将所述安装底座外套与所述安装底座内套相互锁紧。