[发明专利]一种用于提高电容式微机械传感器温度稳定性的方法及微机械传感器有效
| 申请号： | 201210398460.5 | 申请日： | 2012-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN102901520A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 肖定邦;陈志华;吴学忠;胡小平;刘学;侯占强;张旭;苏剑彬;王兴华;贺琨 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01D3/036 | 分类号： | G01D3/036;G01P15/125;B81B3/00 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 赵洪;周长清 |
| 地址： | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于提高电容式微机械传感器温度稳定性的方法及微机械传感器，该方法为：直接将电容式微机械传感器中敏感结构的输出接口电容与电荷放大器的负输入端相连，并在电容式微机械传感器中制作固定电容作为电荷放大器的反馈电容。该微机械传感器可以为三明治结构的微加速度计、扭摆式微加速度计、或微机械陀螺结构，其均是通过内置电容电极和内置电容极板构成电荷放大器的内置电容。本发明可以提高微加速度传感器的输出电容与信号检测电路中电荷放大器积分电容与敏感结构接口电容的温度特性的一致性，进而提高微加速度计的整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 提高 电容 式微 机械 传感器 温度 稳定性 方法 微机 | ||
【主权项】：
一种用于提高电容式微机械传感器温度稳定性的方法，其特征在于：直接将电容式微机械传感器中敏感结构的输出接口电容与电荷放大器的负输入端相连，并在电容式微机械传感器中制作固定电容作为电荷放大器的反馈电容。
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