[发明专利]一种陶瓷电容式压力传感器有效
| 申请号： | 201210398251.0 | 申请日： | 2012-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102928133A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 邬若军 | 申请（专利权）人： | 深圳市安培盛科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道平湖社区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种陶瓷电容式压力传感器，涉及静电电容式压力传感器及其制造工艺。目前，静电电容式压力传感器是在两片陶瓷基板的表面分别设置平板电极，使两电极隔开一个微小的间隙平行相对，并将两片平行陶瓷基板固定为一体，构成一个平板电容器，通过测试压力下电容的变化，检测出压力的大小。极板间的距离决定电容的大小，从而影响压力检测的精度，因此必须精确控制电极间距离。本发明在两平板之间放置环状的低温共烧陶瓷生片(LTCC)，然后将三者叠在一起，用夹具夹紧，在一定温度下烧结为一体，保证了极板间的精确距离和压力检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种陶瓷电容式压力传感器，由相互平行的陶瓷盖板和陶瓷基板在相对的表面设置平板电极，陶瓷盖板和基板之间夹有隔离墩，陶瓷盖板和基板以及隔离墩烧结在一起，其特征在于：上述隔离墩是由环形的LTCC陶瓷薄膜制成，薄膜的厚度为20～50微米，围绕在电极周围。
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