[发明专利]光波导元件及其制造方法无效
| 申请号： | 201210376116.6 | 申请日： | 2012-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103033954A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 山根裕治;佐久间满;藤野哲也;神力孝 | 申请（专利权）人： | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用具有电光效应且厚度为10μm以下的薄板，即使在粘接于加强基板的情况下，也能够抑制薄板或加强板的破损，进而抑制微小的裂纹引起的光损失等的性能劣化的光波导元件。一种光波导元件，具有薄板（1）和加强基板（6），该薄板具有电光效应且厚度为10μm以下，在该薄板上形成有光波导（2），该加强基板经由粘接层（5）而与该薄板粘接，所述光波导元件的特征在于，在该加强基板（6）的该薄板侧的表面上形成有凹凸结构，该加强基板在形成了该凹凸结构之后且粘接于该薄板之前，以居里温度以下的高温进行热处理。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光波导元件，具有薄板和加强基板，该薄板具有电光效应且厚度为10μm以下，在该薄板上形成有光波导，该加强基板经由粘接层而与该薄板粘接，所述光波导元件的特征在于，在该加强基板的该薄板侧的表面上形成有凹凸结构，该加强基板在形成了该凹凸结构之后且粘接于该薄板之前，以居里温度以下的高温进行热处理。
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