[发明专利]一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺及系统

摘要

本发明提供一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺及系统，来自流化床的含尘反应气体首先进入文丘里洗涤器进行洗涤，洗涤后的气液两相在气液分离罐中分离，气体自洗涤塔下部的气体进口进入洗涤塔，液体自洗涤塔下部的液体进口进入洗涤塔；经过洗涤净化后的气体由洗涤塔上部的气体出口排出，出洗涤塔的气体经冷凝器冷凝，一部分凝液作为洗涤塔的洗涤液由顶部重新进入洗涤塔，另外一部分凝液送往精馏装置；含高浓度硅粉、金属氯化物和高沸物的渣浆由浆料口排出。本发明提供的除尘工艺及系统对旋风除尘后的反应气体进行了进一步的处理，反应气体中含有的高沸物、金属氯化物以及微量的细小硅粉在该装置中被除去，使得反应气体在进入冷凝系统时不会堵塞管道和设备，减轻了三氯氢硅中金属氯化物和高沸物的污染，并为装置的连续稳定运行提供了保障。

主权项

一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺，其特征在于，来自流化床的含尘反应气体首先进入文丘里洗涤器(2)进行洗涤，同时由循环泵(13)将洗涤塔(7)塔釜液(6)送至文丘里洗涤器(2)；洗涤后的气液两相在气液分离罐(3)中分离，气体(4)自洗涤塔(7)下部的气体进口进入洗涤塔(7)，液体(5)自洗涤塔(7)下部的液体进口进入洗涤塔(7)；进入洗涤塔(7)的气体(4)自下向上流动，与来自洗涤塔(7)的自上向下流动的洗涤液(11)发生传质和传热；经过洗涤净化后的气体由洗涤塔上部的气体出口排出，出洗涤塔(7)的气体(8)经冷凝器(9)冷凝，一部分凝液作为洗涤塔(7)的洗涤液(11)由顶部重新进入洗涤塔(7)，另外一部分凝液(10)送往精馏装置；含高浓度硅粉、金属氯化物和高沸物的渣浆(12)由浆料口排出。