[发明专利]表面高反材料平面度测量装置及方法无效
| 申请号： | 201210339506.6 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102853787A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 赵春花 | 申请（专利权）人： | 昆山允可精密工业技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京市振邦律师事务所 11389 | 代理人： | 李朝辉 |
| 地址： | 215333 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种表面高反材料平面度测量装置及方法，所述方法采用测量力恒定可控的接触式测头，测量时接触式测头水平布局，接触式测头的探针水平动作，被测物垂直水平面布局，正好与探针相互垂直。能够解决以往半导体、太阳能、光学玻璃等行业中材料表面具有高亮度反光特性的高端产品平面度采用非接触式测量时因表面微观结构对激光光束反射角度造成较大影响、直接导致测量精度下降、难以满足高精度测量需求等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 材料 平面 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种表面高反材料平面度测量方法，其特征在于，所述方法采用测量力恒定可控的接触式测头，测量时接触式测头水平布局，接触式测头的探针水平动作，被测物垂直水平面布局，正好与探针相互垂直。
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