[发明专利]掩模交接机构及具有该掩模交接机构的掩模台有效
| 申请号： | 201210333084.1 | 申请日： | 2012-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN103676488A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 江旭初 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种具有所述掩模交接机构的掩模台，包括：承版台；第一转接板和第二转接板；第一电机和第二电机，第一电机和第二电机用于为所述掩模台提供扫描向运动驱动力、微动方向驱动力，以及通过第一电机和第二电机的差动提供Rz微动方向的驱动力；第一光栅尺和第二光栅尺；第一方向测量镜和第二方向测量镜；以及掩模交接机构，所述掩模交接机构固定设置在所述底座上，并位于所述掩模台扫描运动方向上的一掩模交接位处。本发明所述掩模台通过固定设置所述掩模交接机构于所述掩模交接位处，所述掩模交接机构并具有Rz和Z向运动功能，降低所述掩模台的Rz行程需求。同时，所述掩模台具有第一电机、第二电机，以及第一光栅尺、第二光栅尺，降低所述掩模台的设计难度。 | ||
| 搜索关键词： | 交接 机构 具有 掩模台 | ||
【主权项】：
一种掩模交接机构，其特征在于，所述掩模交接机构包括：交接手，其顶部支撑并吸附掩模版；垂直运动机构，所述垂直运动机构固定连接所述交接手的底部，并驱动所述交接手的沿垂向运动；以及，旋转机构，所述旋转机构设置于所述垂直运动机构的底部，并驱动所述垂直运动机构和交接手沿Rz向旋转运动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210333084.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电磁操作装置以及使用了该装置的开闭装置
- 下一篇：一种新型仪表按键结构
