[发明专利]平整度检测装置和方法有效

专利信息
申请号: 201210319325.7 申请日: 2012-08-31
公开(公告)号: CN102853786A 公开(公告)日: 2013-01-02
发明(设计)人: 程俊;陶大程;沈三明;姜军 申请(专利权)人: 深圳先进技术研究院
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 吴平
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种平整度检测装置包括:激光模块,用于发射线形激光;传感模块,用于获取激光照射在待检物体不同位置的多幅检测图像;图像处理模块,用于得到多条激光图像;偏移计算模块,用于计算出激光图像上各个点相对于预设基准面的图像偏移量;位移计算模块根据图像偏移量以及预设算法计算出实际偏移量;构图模块,用于依据实际偏移量建立与各条激光图像对应的波形图;统计模块,用于将多个波形图相加,得到一条检测曲线;平整度计算模块,用于将检测曲线与预设的标准曲线比较,得到待检物体的平整度。本发明还提供一种对应方法。上述装置和方法利用光学原理以及简单的二维成型数据处理便可以完成平整度检测,相对传统技术计算量更小,检测时间短。
搜索关键词: 平整 检测 装置 方法
【主权项】:
一种平整度检测装置,其特征在于,包括:承载平台、驱动模块、激光模块、传感模块、图像处理模块、偏移计算模块、位移计算模块、构图模块、统计模块和平整度计算模块,所述承载平台用于承载待检物体;所述驱动模块用于驱动所述承载平台移动,以带动所述待检物体移动;所述激光模块用于向所述承载平台发射线形激光;所述传感模块用于获取所述线形激光照射在所述待检物体不同位置的多幅检测图像;所述图像处理模块用于分别从所述多幅检测图像中提取得到多条激光图像;所述偏移计算模块用于计算出所述激光图像上各个点相对于预设基准面的图像偏移量;所述位移计算模块根据所述激光图像上各个点的所述图像偏移量以及预设算法,计算出所述激光图像上各个点的实际偏移量;所述构图模块,用于依据所述各条激光图像的各个点的所述实际偏移量建立与所述各条激光图像对应的波形图;所述统计模块用于将所述多个波形图相加,得到一条检测曲线;所述平整度计算模块用于将所述检测曲线与预设的标准曲线比较,得到所述待检物体的平整度。
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