[发明专利]用于干涉测量确定距离的装置

摘要

本发明涉及一种用于两个尽可能平行布置的板之间的干涉测量的距离确定的装置，装置具有光源、至少一个射束分配元件、至少一个反射器元件和检测单元。光源的射线束入射在第一板上的射束分配元件上被分配为基准射线束和测量射线束。测量射线束入射在第二板的反射器元件上经历第一逆反射。基准射线束穿过第一偏转元件，测量射线束穿过第二偏转元件；两个射线束穿过所属的逆向反射器，测量射线束穿过第三偏转元件，基准射线束穿过第四偏转元件。偏转元件对穿过的射线束分别施加偏转作用。基准射线束在第一板上反射，测量射线束在第二板的反射器元件上经历第二逆反射，因此两个射线束同线地、沿检测单元的方向干涉地传播，产生多个相位移的距离信号。

主权项

用于两个尽可能平行布置的板（1、2；11、12）之间的干涉测量的距离确定的装置，所述装置具有光源（3.1；13.1）、至少一个射束分配元件（1.2；11.2）、至少一个反射器元件（2.2、3.5、3.6；12.1、12.2、13.5）、多个偏转元件、多个逆向反射器（RR）和检测单元4；14），其中‑由所述光源（3.1；13.1）发射的射线束倾斜地入射在所述第一板（1；11）上的射束分配元件（1.2；11.2）上并在那里被分配为反射的基准射线束（R）和透射的测量射线束（M），以及‑所述测量射线束（M）入射在第二板（2）上的反射器元件（2.2；12.2）上并在那里经历沿朝所述第一板（1）的方向的第一逆反射，以及‑所述基准射线束（R）穿过第一偏转元件，而所述测量射线束（M）穿过第二偏转元件，接着所述基准‑和测量射线束（R、M）分别穿过所属的逆向反射器（RR），随后所述测量射线束（M）穿过第三偏转元件，所述基准射线束（R）穿过第四偏转元件，其中所述第一和第二偏转元件以及所述第三和第四偏转元件都分别对穿过的所述基准‑和测量射线束（R、M）施加不同的偏转作用，以及‑然后，所述基准射线束（R）在所述第一板（1；11）上经历反射，以及‑所述测量射线束（M）在所述第二板（2；12）的反射器元件（2.2；12.3）上经历第二逆反射，因此‑所述测量射线束（M）和所述基准射线束（R）同线地、沿朝所述检测单元（4；14）的方向传播，其中由所述干涉的测量‑和基准射线束（M、R）可以产生多个相位移的距离信号（S0、S120、S240）。