[发明专利]一种莫尔条纹倾角测量方法无效
| 申请号： | 201210307793.2 | 申请日： | 2012-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102789138A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 朱江平;胡松;唐燕;陈铭勇;何渝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G01C9/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;李新华 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种莫尔条纹倾角测量方法，该方法包括步骤：对倾斜莫尔条纹进行傅里叶变换、相位提取、相位展开、提取条纹x，y方向上行列相位、行列相位斜率计算、条纹倾角计算。通常接近接触式光刻中，掩模与硅片之间存在一定的倾角，不利于莫尔条纹的高精度对准，本发明可以实现莫条纹倾角高精度计算，用于莫尔条纹光刻对准中，掩模与硅片之间的平行度校正，不需要额外的测量标记，即可完成莫尔条纹倾角的计算。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 莫尔 条纹 倾角 测量方法 | ||
【主权项】：
一种莫尔条纹倾角测量方法，其特征在于：所述方法包括步骤：步骤S1:利用CCD图像探测器件获取倾斜的莫尔条纹像；步骤S2:对该倾斜莫尔条纹进行傅里叶变换，得到其频谱；步骤S3:对步骤S2中的莫尔条纹频谱滤波，然后作逆傅里叶变换，提取莫尔条纹的截断相位；步骤S4:对倾斜莫尔条纹的截断相位φ(x,y)进行相位展开得到连续分布的相位φ(x,y)；步骤S5:提取x，y方向上的任意行列一维相位φx(x,y),φy(x,y)；步骤S6:计算x，y方向上的行列一维相位φx(x,y),φy(x,y)的相位斜率kx,ky；步骤S7:莫尔条纹倾角计算。
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