[发明专利]基于同心双轴的研磨冷却装置

摘要

本发明基于同心双轴的研磨冷却装置，包括设有分离轴的中空分散轴，在筒盖与分散轴之间设有两个第一密封结构，在分散轴与分离轴之间设有两个第二密封结构，位于两个第一密封结构之间的筒盖上设有第一筒盖导孔和第二筒盖导孔，在两个第二密封结构之间的分散轴上设有第一分散轴导孔和第二分散轴导孔，在分散轴与分离轴之间还设有位于两个第二密封结构之间的冷却溶剂输送装置。工作时，冷却溶剂由第一筒盖导孔和第一分散轴导孔注入，在冷却溶剂输送装置的作用下将冷却溶剂输送到第二分散轴导孔，并第二筒盖导孔流出，进而降低第一密封结构和第二密封结构的温度，延长密封结构使用寿命，延长维护周期，减少维护成本，同时也提高研磨系统工作的稳定性。

主权项

基于同心双轴的研磨冷却装置，其特征在于：包括与筒盖转动连接的中空分散轴，在该分散轴内设有分离轴，在筒盖与分散轴之间设有两个第一密封结构，在分散轴与分离轴之间设有两个第二密封结构，位于两个第一密封结构之间的筒盖上设有第一筒盖导孔和第二筒盖导孔，在两个第二密封结构之间的分散轴上设有第一分散轴导孔和第二分散轴导孔，在所述分散轴与分离轴之间还设有冷却溶剂输送装置，该冷却溶剂输送装置设于两个第二密封结构之间。