[发明专利]包含含氟表面活性剂的光阻剥除剂有效
| 申请号： | 201210301068.4 | 申请日： | 2012-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN103631101A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李豪浚;李泰城;吴富其;方旭强 | 申请（专利权）人： | 杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 发明公开了一种光阻剥除剂，其包含：(a)40重量％-80重量％的单乙醇胺；(b)18重量％-58重量％的N，N-二甲基乙酰胺；和(c)0.001重量％-2重量%的含氟表面活性剂，其中所述重量％基于该光阻剥除剂的总重量。本发明的光阻剥除剂具有可与水完全互溶，对于以铝或铝合金为线路材料的电子组件没有腐蚀性，并且对环境低毒性的优势。此外，本发明还公开了使用本发明的光阻剥除剂去除光阻的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 表面活性剂 剥除 | ||
【主权项】：
一种光阻剥除剂，其包含：(a)40重量%‑80重量%的单乙醇胺；(b)18重量%‑58重量%的N，N‑二甲基乙酰胺；和(c)0.001重量%‑2重量%的含氟表面活性剂；其中，所述重量百分比基于所述光阻剥除剂的总重量；所述光阻剥除剂包含少于1重量%的水；和所述光阻剥除剂包含少于1重量%的二元醇醚类溶剂，其中，所述二元醇醚类溶剂选自乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二丙二醇乙醚和二丙二醇丁醚。
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