[发明专利]用源测量单元进行的低频阻抗测量有效
| 申请号： | 201210300201.4 | 申请日： | 2012-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN103063920B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | G.索博列夫斯基 | 申请（专利权）人： | 基思利仪器公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 马红梅;李浩 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及用源测量单元进行的低频阻抗测量。一种用于测量具有小于1 pF的电容的DUT的阻抗的方法包括向所述DUT施加电压或电流信号，所述电压或电流信号包括具有小于1 kHz的非零频率的AC分量；响应于所述电压或电流信号来分别地监视通过所述DUT的电流或电压信号；同步地使所述电压信号和所述电流信号数字化；以及根据所述数字化电压和电流信号来计算所述阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 单元 进行 低频 阻抗 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量具有小于1 pF的电容的DUT的复数阻抗的方法，所述方法包括：向所述DUT施加由源测量单元产生的电压信号，由所述源测量单元中的可调整DC电压源发出所述电压信号，所述可调整DC电压源由所述源测量单元中的控制和测量部控制，所述可调整DC电压源发出的电压信号以小于所述源测量单元的带宽极限的非零频率通过所述控制和测量部周期性地变化，使得所述电压信号包括具有非零频率的AC分量；响应于所述电压信号采用所述源测量单元来监视通过所述DUT的电流信号；同步地使所述电压信号和所述电流信号数字化；以及根据所述数字化电压和电流信号来计算所述复数阻抗，其中所述源测量单元的带宽极限是通过所述源测量单元中的感测反馈环路确定的，并且其中所述带宽极限小于或等于1 kHz。
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