[发明专利]一种钼靶材的制备方法有效
申请号: | 201210291768.X | 申请日: | 2012-08-16 |
公开(公告)号: | CN102922225A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 同磊;李桂鹏;张春恒;陈林;郑爱国;王莉;李兆博;任志东;赵玉林 | 申请(专利权)人: | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
主分类号: | B23P15/00 | 分类号: | B23P15/00;C23C14/34;C23C14/14;C22F1/18 |
代理公司: | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人: | 徐淑芬 |
地址: | 753000 宁夏*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明涉及一种钼靶材的制备方法,该方法是将钼锭经加热挤压,加热锻造和加热轧制后校平,再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钼靶材。通过本发明的制备方法可获得晶粒尺寸、相对密度以及产品尺寸均满足镀膜行业要求的钼靶材,实验显示,通过本发明制备钼靶材晶粒尺寸在120--160μm之间,相对密度大于99%。 | ||
搜索关键词: | 一种 钼靶材 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种钼靶材的制备方法,其特征是:将钼锭经加热挤压,加热锻造和加热轧制后校平,再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钼靶材。
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