[发明专利]高性能钽靶材的热锻工艺有效
| 申请号： | 201210291657.9 | 申请日： | 2012-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN102909299A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 李兆博;李桂鹏;汪凯;同磊;张春恒 | 申请（专利权）人： | 宁夏东方钽业股份有限公司 |
| 主分类号： | B21J5/06 | 分类号： | B21J5/06;B21J5/08 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 徐淑芬 |
| 地址： | 753000 宁夏*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种高性能钽靶材的热锻工艺，其工艺步骤为：首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造，随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造，再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。本发明对应用于高性能钽靶材的大直径（直径大于等于160mm）钽锭通过冷锻结合热锻工艺进行锻造，并配以合适的热处理工艺，得到产品需要的晶粒尺寸和织构组分。利用本发明所生产的轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构比例在50％以上，并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。 | ||
| 搜索关键词： | 性能 钽靶材 锻工 | ||
【主权项】：
一种高性能钽靶材的热锻工艺，其特征在于其工艺步骤为：首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造，随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造，再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏东方钽业股份有限公司，未经宁夏东方钽业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210291657.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
