[发明专利]气体传感器有效
| 申请号： | 201210286970.3 | 申请日： | 2012-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN102954986A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 奥瑞利·休伯特;戴维·蒂奥·卡斯特罗 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;H01L27/00;G06K19/067;F24F11/02;F24D19/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明公开了一种位于半导体衬底上的气体传感器。该气体传感器包括细长传感器元件，该细长传感器元件横跨开口延伸并具有相反的第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面外露以与要感测的气体相接触。第一表面背向衬底的主表面。第二表面面向所述主表面。细长传感器元件的电导率对所述相反的第一表面和第二表面能够外露到的所述气体的成分和/或浓度是敏感的。该气体传感器还包括支撑结构，该支撑结构设置为通过将细长传感器元件支撑在所述开口中而增加气体传感器的机械强度。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种位于半导体衬底上的气体传感器，该气体传感器包括：细长传感器元件，该细长传感器元件横跨开口延伸并具有相反的第一表面和第二表面，所述第一表面和第二表面外露以与要感测的气体相接触，其中，第一表面背向衬底的主表面，第二表面面向所述主表面，细长传感器元件的电导率对所述相反的第一表面和第二表面能够外露到的所述气体的成分和/或浓度是敏感的；以及支撑结构，该支撑结构被布置为通过将细长传感器元件支撑在所述开口中来提高气体传感器的机械鲁棒性。
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