[发明专利]一种三氯氢硅合成尾气的处理方法有效
| 申请号： | 201210285784.8 | 申请日： | 2012-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102814095A | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 万烨;严大洲;毋克力;肖荣晖;汤传斌 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;B01D53/02;B01D53/26;C01B3/56 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成;黄德海 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三氯氢硅合成尾气的处理方法，包括以下步骤：a)将所述三氯氢硅合成尾气进行沉降处理，并将沉降处理后的三氯氢硅合成尾气利用气体过滤装置进行过滤，以除去其中的固体杂质，其中，所述气体过滤装置内设有陶瓷滤芯；b)将过滤后的三氯氢硅合成尾气进行冷凝，以得到液体的氯硅烷和气态的氢气与氯化氢的混合物；以及c)将氢气与氯化氢的混合物通过吸附剂进行吸附，以吸附其中的氯化氢，得到高纯氢气。根据本发明的方法，由于采用设置有陶瓷滤芯的气体过滤装置，该过滤装置具有耐高温，耐腐蚀的优良特性，而且材质稳定，不会对多晶硅产品质量造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 合成 尾气 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅合成尾气的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：a)将所述三氯氢硅合成尾气进行沉降处理，并将沉降处理后的三氯氢硅合成尾气利用气体过滤装置进行过滤，以除去其中的固体杂质，其中，所述气体过滤装置内设有陶瓷滤芯；b)将过滤后的三氯氢硅合成尾气进行冷凝，以得到液体的氯硅烷和气态的氢气与氯化氢的混合物；以及c)将氢气与氯化氢的混合物通过吸附剂进行吸附，以吸附其中的氯化氢，得到高纯氢气。
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