[发明专利]一种用于超高纯介质输送系统的配料设备无效
申请号: | 201210257923.6 | 申请日: | 2008-01-07 |
公开(公告)号: | CN102797975A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 朱浩然;卫洁 | 申请(专利权)人: | 上海创洁科技有限公司 |
主分类号: | F17D1/08 | 分类号: | F17D1/08 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人: | 王建国 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于超高纯介质输送系统的配料设备,由配料罐、注射用水循环装置组成,所述注射用水循环装置包括一注射用水进水管,所述注射用水进水管分成两路,一路通过第一阀门连接到位于所述配料罐顶部的喷淋球,另一路通过第二阀门通过一直管直通到所述配料罐内部的液面以下。本发明把注射用水分成两路,在配料时,关闭通往喷淋球的那路,而打开另外一路进入配料罐,通过一根直管直通到配料罐内的液面以下,从而避免了以上了问题和风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 高纯 介质 输送 系统 配料 设备 | ||
【主权项】:
一种用于超高纯介质输送系统的配料设备,由配料罐(31)、注射用水循环装置组成,其特征在于:所述注射用水循环装置包括一注射用水进水管,所述注射用水进水管分成两路,一路通过第一阀门(321)连接到位于所述配料罐(31)顶部的喷淋球(33),另一路通过第二阀门(322)通过一直管直通到所述配料罐(31)内部的液面以下。
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