[发明专利]一种用于超高纯介质输送系统的配料设备无效
| 申请号： | 201210257923.6 | 申请日： | 2008-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN102797975A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 朱浩然;卫洁 | 申请（专利权）人： | 上海创洁科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/08 | 分类号： | F17D1/08 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高纯 介质 输送 系统 配料 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于超高纯介质输送系统的配料设备，由配料罐(31)、注射用水循环装置组成，其特征在于:所述注射用水循环装置包括一注射用水进水管，所述注射用水进水管分成两路，一路通过第一阀门(321)连接到位于所述配料罐(31)顶部的喷淋球(33)，另一路通过第二阀门(322)通过一直管直通到所述配料罐(31)内部的液面以下。
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