[发明专利]钛酸钡化学机械抛光水性组合物及其应用有效
| 申请号： | 201210248321.4 | 申请日： | 2012-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN102786879A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 路新春;戴媛静;潘国顺;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B29/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志东 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及钛酸钡化学机械抛光水性组合物及其应用。其中，钛酸钡化学机械抛光水性组合物包含：1-20重量%，优选8-15重量%的磨料；0.5-10重量％，优选1-3重量%的络合剂；以及0.01-5重量%，优选0.1-1重量%的表面吸附剂，其中，该钛酸钡化学机械抛光水性组合物的pH值为8.0-12.0，优选10.0-11.5。本发明的钛酸钡化学机械抛光水性组合物，能够有效地应用于钛酸钡基片化学机械抛光工艺，从而能够有效地获得高抛光速率、高表面质量的抛光钛酸钡层。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸钡 化学 机械抛光 水性 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种钛酸钡化学机械抛光水性组合物，其特征在于，包含：1‑20重量%，优选8‑15重量%的磨料；0.5‑10重量%，优选1‑3重量%的络合剂；以及0.01‑5重量%，优选0.1‑1重量%的表面吸附剂，其中，所述钛酸钡化学机械抛光水性组合物的pH值为8.0‑12.0，优选10.0‑11.5。
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