[发明专利]新型超高真空微调阀

摘要

一种新型超高真空微调阀，由螺杆微调机构及阀座、阀塞构成，螺杆微调机构用超高真空的密封方式安装在阀座上。阀针与无氧铜制成的锥孔密封，其螺杆微调机构由压紧螺母、小锥套、阀杆、差动螺杆、阀锥套、阀盖、波纹管、阀针、导向键组成，阀盖安装在阀座上，通过压紧无氧铜垫及不锈钢波纹管实现密封，旋转手柄固定于差动螺杆，阀杆与阀针连为一体，阀盖上设有内、外螺纹，螺纹处开有破口，通过压紧螺母6推动大锥套挤压阀盖的锥面达到消除与差动螺杆的螺纹间隙，旋转压紧螺母2即消除差动螺杆与阀杆的螺纹间隙。本发明设计合理，实用性强，采用了螺杆微调实现了超高真空密封。

主权项

一种新型超高真空微调阀，其特征在于由螺杆微调机构及阀座(12)、阀塞(11)构成，螺杆微调机构用超高真空的密封方式安装在阀座(12)上。阀针(10)与无氧铜制成的锥孔密封，其螺杆微调机构由压紧螺母(2、6)、小锥套(3)、阀杆(4)、差动螺杆(5)、大锥套(7)、阀盖(8)、波纹管(9)、阀针(10)、导向键(13)组成，阀盖(8)安装在阀座(12)上，通过压紧无氧铜垫及不锈钢波纹管实现密封，旋转手柄固定于差动螺杆，阀杆(4)与阀针(10)连为一体，阀盖(8)上设有内、外螺纹，螺纹处开有破口，通过压紧螺母(6)推动大锥套(7)挤压阀盖(8)的锥面达到消除与差动螺杆(5)的螺纹间隙，旋转压紧螺母(2)即消除差动螺杆(5)与阀杆(4)的螺纹间隙。